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燃料電池冷卻水套真空箱氦測(cè)漏設(shè)備服務(wù)為先【科儀創(chuàng)新真空】
2021-06-18






氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)方法

(1) 漏率校準(zhǔn)① 校準(zhǔn)系統(tǒng)的組成

校準(zhǔn)系統(tǒng)由標(biāo)準(zhǔn)漏孔、截止閥及需校準(zhǔn)的氦質(zhì)譜檢漏儀組成。

②示值誤差

通電預(yù)熱,待氦質(zhì)譜檢漏儀啟動(dòng)完成后,采用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn),將一經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng),運(yùn)行氦質(zhì)譜檢漏儀,待漏率示值穩(wěn)定后,可以讀出標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值,同一標(biāo)準(zhǔn)漏孔測(cè)量三次,計(jì)算氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值,從而得到標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率與氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。質(zhì)譜儀通過(guò)其核心部件質(zhì)譜室,使不同質(zhì)量的氣體變成離子并在某種場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)后,不同質(zhì)荷比的離子在場(chǎng)中彼此分開(kāi),而相同質(zhì)荷比的離子在場(chǎng)中匯聚在一起,如果在適當(dāng)位置安置接收1器接收所有這些離子,就會(huì)得到按照質(zhì)荷比大小依次分開(kāi)排列的質(zhì)譜圖,這就是質(zhì)譜。結(jié)束后,將其他量級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔依次按此方法接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試,得到氦質(zhì)譜檢漏儀在每一量級(jí)下漏率的示值誤差。

如果測(cè)試結(jié)果有較大編差,可以考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的自校功能,待完成后,再用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行測(cè)試。

③ 重復(fù)性

測(cè)量重復(fù)性是用實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差表征的,本校準(zhǔn)方法采用極差法來(lái)表征重復(fù)性。在示值誤差測(cè)量中,每一標(biāo)準(zhǔn)漏孔用氦質(zhì)譜檢漏儀重復(fù)測(cè)量三次,可用公式(2)計(jì)算氦質(zhì)譜檢漏儀在該漏率下的重復(fù)性。

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氦氣檢漏儀的工作原理是什么?

主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)組成,離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子,分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間,不同離子的質(zhì)荷比不同;真空壓力法的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)有GB/T15823-2009《氦泄漏檢驗(yàn)》,主要應(yīng)用于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、壓力不是特別高的密封產(chǎn)品,如電磁閥、高壓充氣管道、推進(jìn)劑貯箱、天線(xiàn)、應(yīng)答機(jī)、整星產(chǎn)品等。在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離,再設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙;打在收集器上,收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器,通過(guò)測(cè)量離子流就可知漏率。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式有那些

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。

逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。正壓法的優(yōu)點(diǎn)是不需要輔助的真空系統(tǒng),可以準(zhǔn)確定位,實(shí)現(xiàn)任何工作壓力下的檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。

氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理

逆擴(kuò)散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強(qiáng)較高,氦質(zhì)譜檢漏儀可達(dá)1000Pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸槍檢漏。逆擴(kuò)散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染,燈絲壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。

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